SEMICOSIL® 4MS-EL

Tetramethylsilane (TMS) is a low-boiling colorless liquid.

  • CAS No. 75-76-3
  • Empirical formula C4H12Si
  • Molecular weight 88,2

Properties

- hohe Reinheit
- niedriger Metallgehalt
- niedriger Chloridgehalt


SEMICOSIL® 4MS-EL was developed for the semiconductor industry, e.g. as precursor for low dielectric constant interlayer dielectrics.

Storage

Das Mindesthaltbarkeitsdatum der jeweiligen Charge ist auf dem Produktetikett angegeben. Eine Lagerung über den auf dem Produktetikett angegebenen Zeitraum hinaus bedeutet nicht notwendigerweise, dass die Ware unbrauchbar ist. Eine Überprüfung der für den jeweiligen Einsatzzweck erforderlichen Eigenschaftswerte ist jedoch in diesem Falle aus Gründen der Qualitätssicherung unerlässlich.

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