SEMICOSIL® OCTS

SEMICOSIL® OCTS is Octachlorotrisilane for the use in the semiconductor industry.

  • CAS Nr. 13596-23-1
  • Summenformel Si3Cl8
  • Molekulargewicht 367,88

Eigenschaften

SEMICOSIL® OCTS is used as precursor in ALD and CVD processes.

Verpackung / Gebinde

0,2kg in a sample bottle or 27kg in a 5ga pressure canister.

Lagerung

Do not store at high temperature.

Vertrieb & Support

Wacker Kimya Ticaret Limited Şirketi
Tevfik Fikret Cad. No: 32/4
34750 Ataşehir / Istanbul
Türkei
+90  216  569-7050 (Phone)
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