半导体工业用功能性化学品
SEMICOSIL®电子级硅烷因纯度高，金属污染性极低，已成为半导体工业不可或缺的基本材料。作为全球最大的硅烷生产商之一，瓦克在该领域拥有创新的产品组合，包括微电子零部件生产用助剂、工艺优化用原材料，以及在化学气相沉积室中可用来沉积绝缘层的前体等。
化学气相沉积（CVD）及旋涂绝缘介质（SOD）用硅烷
优势：
应用领域：
光刻用硅烷
SEMICOSIL®硅氮烷可在平版印刷术中作为助剂用于微电子应用，以及作为原材料用来优化工艺。
优势：
应用领域：
化学机械抛光（CMP）用气相二氧化硅
HDK® I13气相二氧化硅可作为磨砂剂用于化学机械抛光（CMP）浆料。
优势：
应用领域：
浸蚀用电子级氯化氢
SEMICOSIL® HCl 5.5是一种半导体加工领域的高纯氯化氢，可满足最为严格的质量要求。