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电子行业用硅烷

凭借超高的纯度以及极低的金属污染性,SEMICOSIL® 电子级硅烷已成为半导体行业的关键材料。作为全球最大的硅烷生产商之一,瓦克拥有一系列创新型硅烷产品组合,包括微电子元件生产用添加剂、工艺优化用原材料,以及在化学气相沉积室中用作沉积绝缘层的前体等等。

SEMICOSIL®正硅酸乙酯(TEOS)和SEMICOSIL® 二甲基二氯硅烷可作为绝缘层用于半导体元件中。

优势

  • 高纯度
  • 金属含量低
  • 氯化物含量低
  • 甲醇含量低
  • 介电常数极低的专用产品系列可用于新一代芯片

应用

  • 作为采用化学气相沉积工艺生成绝缘层的前体
  • 作为采用旋涂工艺生产的涂层的成分

SEMICOSIL®硅烷是一种RTV-1硅橡胶,可在平版印刷术中作为添加剂用于微电子应用,以及作为原材料用于优化工艺。

  • 高纯度
  • 金属含量低
  • 氯化物含量低
  • 蒸发后的残留物较少

应用

  • 平版印刷工艺中的附着促进剂
  • 光刻胶聚合物改性用原材料
  • 绝缘层表面结构生成用原材料
  • 制造蚀刻终止薄膜