Eine Scheibe erobert die Welt - Wacker Chemie AG


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Eine Scheibe erobert die Welt

Johann Schandl, 57, besitzt einen Computer, ein Handy, ein Auto, eine Heizung und einen Fahrrad-Computer für sein Rennrad. All diese technischen Geräte funktionieren nur, weil es eine flache Scheibe gibt. Und der hat Johann Schandl sein gesamtes Berufsleben gewidmet.

Blitzblank wie ein Spiegel: Johann Schandls Betrieb „Finishing/Epitaxy 300 mm“ stellt hochreine Silicumwafer her.

Während seines Maschinenbaustudiums ahnt Schandl noch nicht, dass er sich später einmal für viele Jahre intensiv mit einer „Oblate“ beschäftigen würde. Das englische Wort dafür lautet „Wafer“. Und um die Fertigung solcher Wafer geht es im Bereich Technologie-Entwicklung. Dort beginnt 1983 Johann Schandls Laufbahn bei der WACKER-Tochter Chemitronic in Burghausen (seit 2004 Siltronic AG). Bereits ein Jahr später produziert Chemitronic den ersten 200-mm-Wafer.

Aber was genau ist eigentlich ein Wafer? „Eine flache Scheibe aus hochreinem Silicium, die höchste geometrische Anforderungen erfüllt. Außerdem muss sie frei von Partikeln und Metallatomen sein“, erklärt Schandl. Wafer sind die Grundplatten für Computer-Chips und andere elektronische Bauelemente. „Geometrische Anforderungen“ bedeuten dabei, dass der Wafer praktisch keinerlei Unebenheiten aufweisen darf. „Wäre der Wafer so groß wie ganz Europa, dann dürfte der größte Höhenunterschied gerade mal sechs Meter betragen“, sagt Schandl und erklärt auch gleich, was er unter metallischer Reinheit versteht: „Wenn auf eine Milliarde Silicium-Atome nur ein einziges Metallatom kommt, dann funktioniert das aus dem Wafer hergestellte elektronische Bauelement nicht mehr.“

Im Jahr 1990 beteiligt sich Johann Schandl an den ersten Forschungsaktivitäten für einen 300-mm-Wafer. Vier Jahre später erlebt er mit, wie aus der Wacker-Chemitronic GmbH die Wacker Siltronic GmbH wird. 1999 wechselt er mit seiner Frau und den beiden Töchtern nach Singapur und leitet dort einen Betrieb des neuen Werks zur Herstellung von 200-mm-Wafern: „Besonders interessant war die Arbeit in einem multikulturellen Team aus Singapurianern, Chinesen, Malaysiern, Philippinos, Indern, Australiern, Amerikanern und Deutschen. Wir wuchsen schnell zu einem wirklich guten Team zusammen.“

2002 kehrt Schandl nach Burghausen zurück und übernimmt dort zunächst die Betriebsleitung für den Bereich „Endreinigung Small Diameter“. Seit 2004 ist er Betriebsleiter Finishing/Epitaxy für 300-mm-Siliciumwafer, zunächst in Burghausen, seit 2013 zusätzlich auch für den Standort Freiberg. Heute zählt die Siltronic AG weltweit zu den größten Waferherstellern; zu den Kunden gehören alle namhaften Chiphersteller.

Obwohl alle Siliciumscheiben gleich aussehen, rund und glänzend, gibt es doch enorme Unterschiede: „Die Kunden geben die Parameter vor“, so Schandl, „von den elektrischen Eigenschaften über den Gehalt an Kohlenstoff und Sauerstoff bis hin zum geometrischen Aussehen.“ Hergestellt werden die Wafer in Reinräumen, die um ein vielfaches sauberer sein müssen als ein Operationssaal im Krankenhaus. Jeder Mitarbeiter in seinen Betrieben schlüpft deshalb in eine Reinmontur: Overall, Kopfhaube, Mundschutz, Schuhe und zwei Paar Handschuhe, die übereinander getragen werden – nur die Augenpartie bleibt frei.

Trotz der starken Abhängigkeit von der weltweiten Konjunktur blickt Johann Schandl für Siltronic optimistisch in die Zukunft: „Wir setzen auf die Energiesteuerung und -einsparung. Da tut sich in den kommenden Jahren noch einiges auf.“