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Silane für die Elektronikindustrie

Hohe Reinheit und eine extrem niedrige Konzentration an Metallverunreinigungen machen SEMICOSIL® Elektroniksilane zu einem elementaren Werkstoff in der Halbleiterindustrie. Als einer der weltweit größten Silanhersteller bietet WACKER ein innovatives Portfolio mit Additiven zur Produktion von mikroelektronischen Bauteilen, Rohstoffen zur Prozessoptimierung sowie Precursoren für die Abscheidung von Isolatorschichten in CVD-Kammern.

SEMICOSIL® TEOS Tetraethoxyorthosilikate und SEMICOSIL® Dimethoxydimethylsilane wirken als Isolatorschichten in Halbleiterbauteilen.

Vorteile:

  • hohe Reinheit
  • geringer Metall-Anteil
  • geringer Chlorid-Anteil
  • geringer Methanol-Anteil
  • spezielle Typen mit tiefen Dielektrizitätskonstanten für die neue Chip-Generation

Anwendungen:

  • Precursor bei der Erzeugung isolierender Schichten über CVD-Prozesse
  • Bestandteil von Beschichtungen nach den Spin-on-Prozessen

SEMICOSIL® Silane sind RTV-1 Siliconkautschuke und werden als Additive für mikroelektronische Anwendungen sowie als Rohstoffe zur Prozessoptimierung in der Lithografie eingesetzt.

Vorteile:

  • hohe Reinheit
  • geringer Metall-Anteil
  • geringer Chlorid-Anteil
  • geringe Verdampfungsrückstände

Anwendungen:

  • Adhäsion-Promotor in lithografischen Prozessen
  • Rohstoff bei der Modifizierung von Photoresistpolymeren
  • Rohstoff in der Erzeugung von Strukturen auf isolierenden Schichten
  • Herstellung von Etch-Stop-Schichten